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सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन पिंड

विवरण

सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन पिंडis आमतौर पर उगाया जाता है सटीक डोपिंग और पुलिंग तकनीकों Czochralski CZ, चुंबकीय क्षेत्र प्रेरित Czochralski MCZ और फ्लोटिंग ज़ोन FZ विधियों द्वारा एक बड़े बेलनाकार पिंड के रूप में।सेमीकंडक्टर उपकरण बनाने के लिए इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में उपयोग किए जाने वाले 300 मिमी तक के व्यास में बड़े बेलनाकार सिल्लियों के सिलिकॉन क्रिस्टल विकास के लिए सीजेड विधि सबसे व्यापक रूप से उपयोग की जाती है।एमसीजेड विधि सीजेड विधि का एक रूपांतर है जिसमें एक विद्युत चुंबक द्वारा बनाया गया चुंबकीय क्षेत्र, जो तुलनात्मक रूप से कम ऑक्सीजन एकाग्रता, कम अशुद्धता एकाग्रता, कम विस्थापन और समान प्रतिरोधकता भिन्नता प्राप्त कर सकता है।FZ विधि 1000 -सेमी से ऊपर उच्च प्रतिरोधकता और कम ऑक्सीजन सामग्री के साथ उच्च शुद्धता क्रिस्टल की उपलब्धि की सुविधा प्रदान करती है।

वितरण

वेस्टर्न मिनमेटल्स (एससी) कॉर्पोरेशन में सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन इनगॉट सीजेड, एमसीजेड, एफजेड या एफजेड एनटीडी एन-टाइप या पी-टाइप चालकता के साथ 50 मिमी, 75 मिमी, 100 मिमी, 125 मिमी, 150 मिमी और 200 मिमी व्यास (2, 3) के आकार में वितरित किया जा सकता है। , 4, 6 और 8 इंच), अभिविन्यास <100>, <110>, <111> सतह के साथ प्लास्टिक बैग के पैकेज में बाहर कार्टन बॉक्स के साथ, या सही समाधान तक पहुंचने के लिए अनुकूलित विनिर्देश के रूप में।

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विवरण

सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन इनगॉट सीजेड, एमसीजेड, एफजेड या एफजेड एनटीडीवेस्टर्न मिनमेटल्स (एससी) कॉर्पोरेशन में एन-टाइप या पी-टाइप चालकता के साथ 50 मिमी, 75 मिमी, 100 मिमी, 125 मिमी, 150 मिमी और 200 मिमी व्यास (2, 3, 4, 6 और 8 इंच), अभिविन्यास <100 के आकार में वितरित किया जा सकता है >, <110>, <111> सतह के साथ प्लास्टिक बैग के पैकेज में बाहर कार्टन बॉक्स के साथ, या सही समाधान तक पहुंचने के लिए अनुकूलित विनिर्देश के रूप में।

नहीं।	सामान	मानत विशिष्टताएँ
1	आकार	2", 3 ", 4", 5 ", 6", 8 ", 9.5", 10 ", 12"
2	व्यास मिमी	50.8-241.3, या आवश्यकतानुसार
3	विकास विधि	सीजेड, एमसीजेड, एफजेड, एफजेड-एनटीडी
4	चालकता प्रकार	पी-टाइप / बोरॉन डोप्ड, एन-टाइप / फॉस्फाइड डोप्ड या अन-डोपेड
5	लंबाई मिमी	≥180 या आवश्यकता के अनुसार
6	अभिविन्यास	<100>, <110>, <111>
7	प्रतिरोधकता Ω-सेमी	जैसी ज़रूरत
8	कार्बन सामग्री a/cm³	≤5E16 या आवश्यकता के अनुसार
9	ऑक्सीजन सामग्री a/cm³	≤1E18 या आवश्यकता के अनुसार
10	धातु संदूषण ए / सेमी³	<5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) या <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn)
11	पैकिंग	प्लास्टिक बैग के अंदर, प्लाईवुड का मामला हो या गत्ते का डिब्बा बाहर।

चिन्ह, प्रतीक	Si
परमाणु क्रमांक	14
परमाण्विक भार	28.09
तत्व श्रेणी	धातु के रूप-रंग का एक अधातु पदार्थ
समूह, अवधि, ब्लॉक	14, 3, पी
क्रिस्टल की संरचना	हीरा
रंग	अंधेरे भूरा
गलनांक	1414 डिग्री सेल्सियस, 1687.15 के
क्वथनांक	3265°C, 3538.15 K
300K . पर घनत्व	2.329 ग्राम/सेमी³
आंतरिक प्रतिरोधकता	3.2E5 -सेमी
सीएएस संख्या	7440-21-3
चुनाव आयोग संख्या	231-130-8

सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन पिंड, जब पूरी तरह से विकसित हो जाता है और इसकी प्रतिरोधकता, अशुद्धता सामग्री, क्रिस्टल पूर्णता, आकार और वजन के योग्य हो जाता है, तो इसे सही व्यास के लिए एक आदर्श सिलेंडर बनाने के लिए हीरे के पहियों का उपयोग किया जाता है, फिर पीसने की प्रक्रिया द्वारा छोड़े गए यांत्रिक दोषों को दूर करने के लिए एक नक़्क़ाशी प्रक्रिया से गुजरना पड़ता है। .बाद में बेलनाकार पिंड को निश्चित लंबाई के साथ ब्लॉक में काट दिया जाता है, और डाउनस्ट्रीम वेफर स्लाइसिंग प्रक्रिया से पहले क्रिस्टलोग्राफिक अभिविन्यास और चालकता की पहचान करने के लिए संरेखण के लिए स्वचालित वेफर हैंडलिंग सिस्टम द्वारा पायदान और प्राथमिक या माध्यमिक फ्लैट दिया जाता है।